고순도 그라파이트: 폴리실리콘 제조

메르센은 폴리실리콘 제조 산업에 사용되는 소모품 및 설비를 제공합니다.

쿼츠 반응기 챔버에는 고순도 그라파이트 전극에 장착된 매우 얇은 U자형 실리콘필라멘트가 포함되어 있습니다. 실리콘 필라멘트는 그라파이트 전극에서 공급된 전류로 인해 가열됩니다. 기체상의 트리클로로실란 SiHCl3(TCS)은 고온에서 증착 챔버에서 분해되어 필라멘트에 순수 실리콘이 증착됩니다. 증착 공정이 완료되면 실리콘 필라멘트는 반응기에서 꺼내 폴리실리콘을 산산이 부숴 회수합니다.

메르센은 이 공정에서 소모품으로 사용되는 고순도 그라파이트 전극을 공급합니다.

반응기의 쿼츠 챔버 내부에서 실리콘 미립자는 실란의 반대 흐름으로 방출됩니다. 반응기 및 가스 유입구는 그라파이트 히터에 의해 가열되고 리지드 펠트로 단열됩니다. 실란은 실리콘으로 분해되어 미립자를 팽창시킵니다. 순수한 실리콘이 비드 형태로 회수됩니다.

증착 공정 동안 기체의 상당 부분은 STC(SiCl4)로 변형됩니다. 수율을 높이려면 이 STC를 1,500℃의 고온 수소화 반응기에서 TCS로 재생해야 합니다.

메르센은 특히 경쟁력 있고 종합적인 제품으로 이 시장에서 인정을 받고 있는 선도업체입니다.